В январе 2020 года инженеры компании «Дана Инжиниринг» реализовали новый проект по индивидуальному техническому заданию.
Установка вакуумного напыления Fermi 1000 предназначена для нанесения различных покрытий на оптические изделия.
Высокая равномерность покрытия по толщине 2% достигается за счет сферического планетарного подложкодержателя. Также перемещение и вращение подложек позволяет более эффективно использовать объем камеры, что увеличивает производительность вакуумной системы.
Криогенная откачка позволяет проводить процесс при высоком вакууме 10-6мбар.
Перед началом процесса проводится обезгаживание путем прогрева до 200°С.
Очистка и активация поверхности перед напылением осуществляется ионным источником. Также во время проведения процесса возможно ассистирование End-Hall.
За счет ионного ассистирования покрытие получается более плотным и имеет более однородные свойства по толщине, лучшую адгезию и меньшее внутреннее напряжение.
После введения в эксплуатацию производительность установки выросла в 2 раза по сравнению с предыдущей установкой. Улучшились оптические показатели, улучшилась адгезия. Надежность установки обеспечивается автоматикой. Выполнена система защиты от ошибок оператора.
